Быстродействующий встраиваемый эллипсометр ЛЭФ-959
Производитель, год выпуска
ИФП СО РАН, Россия, 2010 г.
Основные технические характеристики
Источник света- HeNe лазер с длиной волны 632,8 нм. Время одиночного измерения 1 мсек.
Чувствительность к изменению толщины пленки
0,1 монослоя, чувствительность к изменению оптических констант до 0,0005 слоя.
Погрешность измерения толщины пленки 0,3 нм,
погрешность измерения оптических констант 0,005.
Диаметр зондирующего луча 2 мм.